主要半導体材料ガスの国内市場動向｜2020年〜2024年の需要推移を分析

本記事では、一般社団法人 日本産業・医療ガス協会のデータを基に、CF4・NF3・NH3などの主要ガスの2020年から2024年までの国内販売実績と前年比推移を解説いたします。

 

 

 

主要半導体材料ガスの国内販売実績

 

		2024年		2023年		2022年		2021年		2020年
		数量	前年比	数量	前年比	数量	前年比	数量	前年比	数量	前年比
アルシン	AsH3	5,700	114%	5,000	85%	5,900	68%	8,700	99%	8,800	102%
ジボラン	B2H6	1,800	150%	1,200	60%	2,000	217%	920	123%	750	121%
四フッ化炭素	CF4	530,700	103%	514,600	84%	614,100	94%	654,000	111%	589,600	101%
三フッ化メタン	CHF3	102,900	124%	83,200	76%	110,000	109%	100,800	111%	91,200	115%
六フッ化エタン	C2F6	227,600	80%	283,100	157%	179,800	129%	139,800	103%	135,900	96%
八フッ化シクロブタン	C4F8	429,300	130%	330,300	81%	407,000	121%	335,200	139%	240,900	106%
塩素	Cl2	272,900	93%	294,900	84%	352,100	94%	373,000	111%	335,600	103%
臭化水素	HBr	193,400	115%	167,700	84%	199,700	94%	212,200	122%	174,200	126%
アンモニア	NH3	2,908,400	184%	1,580,000	77%	2,045,800	44%	4,698,500	107%	4,402,100	153%
三フッ化窒素	NF3	2,122,200	154%	1,379,000	59%	2,352,000	87%	2,693,000	151%	1,780,500	113%
一酸化二窒素	N2O	906,700	81%	1,112,900	66%	1,688,700	104%	1,626,000	143%	1,139,300	109%
ホスフィン	PH3	5,400	113%	4,800	65%	7,400	99%	7,500	112%	6,700	102%
モノシラン	SiH4	224,300	87%	258,600	86%	301,900	109%	278,200	82%	339,500	110%
ジクロロシラン	SiH2Cl2	99,200	50%	197,000	69%	283,700	169%	168,200	97%	174,200	100%
四フッ化ケイ素	SiF4	8,300	169%	4,900	70%	7,000	100%	7,000	100%	7,000	100%
ＴＥＯＳ	(C2H5O)4Si	1,058,700	122%	869,100	78%	1,107,600	107%	1,037,500	112%	925,900	114%
六フッ化硫黄	SF6	216,600	114%	190,000	80%	237,500	106%	224,600	105%	214,900	99%
六フッ化タングステン	WF6	291,700	144%	202,000	79%	256,800	106%	241,700	107%	224,900	105%

 

 

 

半導体材料ガスの需要推移：注目ポイント

 

2023年は半導体需要の低迷で、半導体材料ガスの国内販売はほとんどの素材で減少しています。2024年は市場が回復した事で多くのガスで販売量が増えました。

 

 

アンモニア（NH3）：需要回復が顕著

2020年には約440万kgと圧倒的な販売量を記録したNH3は、2022年に一度半分以下に落ち込んだものの、2024年には前年比184%と大幅に回復しています。

2022年～23年は液晶や半導体向けの需要減が大きく影響したが、24年には大きく回復。

ウェハー処理や成膜用途などでの需要増が考えられます。

 

 

 

三フッ化窒素（NF3）：変動幅が大きいクリーニングガス

NF3はプラズマクリーニングなどに多用されるガスで、製造装置の稼働率に応じて需要が上下します。

2021年には前年比151%で大きく伸びた後、2023年には落ち込みましたが、2024年には再び前年比154%と先端半導体を中心に需要回復が見られました。

また、三井化学はNF3事業の撤退を発表しており、2026年3月末で生産を停止し、2026年内には販売終了を予定している。

 

 

 

八フッ化シクロブタン（C4F8）：右肩上がりで成長

C4F8はエッチング用途を中心に安定して需要が伸びており、2020年の約24万kgから2024年には約43万kgとほぼ倍増。特に2024年は前年比130%と高い成長率を示しています。

 

 

 

四フッ化炭素（CF4）：安定需要が続く

CF4は安定的な需要が続くガスの代表例で、５年間を通して50〜65万kg前後で推移。直近2024年は前年比103%と堅調さが際立ちます。メモリー半導体や光ファイバー向けの生産調整の影響で23年はやや落としたが、安定需要は変わらず。

 

 

 

減少傾向が続くガスも

モノシラン（SiH4）や塩素（Cl2）などは長期的に需要減少が続いています。

CVDプロセスからALDプロセスへの移行による影響でモノシランの需要減少が進んでいると考えられます。

また、塩素はPRTR制度の対象で排出削減や代替の動きが企業のコスト削減と環境負荷低減の両面で進んでいるといえます。