60秒でわかる!半導体チップの作り方
- 半導体用語集
新川と広報がショート動画で説明
動画のやり取り
新川:新 広報:広
広:半導体ってどうやって作られてるんですか。
新:半導体チップの作り方はめちゃくちゃ簡単に言うと、まずはどういうものを作りたいかってのを設計するんですよ。
広:はい。
新:それをシリコンウエハーと言われる原料みたいなものがあるんすけど、(それを作ってるのが信越化学とか)
設計した回路パターンを描いて焼き付けていく。
焼きつけた後、電気的に問題がないか検査し、最終的にそれを切っていく。
信越化学がウエハーを作って、その焼きつけたりする機会に東京エレクトロンみたいな会社があって、その切っていく(ダイシング)のにディスコとかがあって、最後それがちゃんと動くかとかっていうのをアドバンテストとかそういう会社が検査する。
それがようやく半導体チップになると、実装(プリント基板に電子部品を半田づけして電子回路を形成する)や組立工程でさまざま組み込まれて進んだりして、iPhoneとかスマホとかをパッケージして、それが電子機器になる。
半導体の製造工程と製造装置や会社をご紹介
マスク製造工程
作業工程 | 装置名 | メーカー |
回路・パターン設計 | ||
フォトマスク作成 | マスク描画装置 |
ニューフレアテクノロジー JEOL(日本電子) |
フォトマスク検査 | マスク検査装置 |
アドバンテスト レーザーテック ニューフレアテクノロジー |
ウエハー製造工程
作業工程 | 装置名 | メーカー |
シリコンインゴット切断 | ワイヤーソー |
トーヨーエイテック 岡本工作機械製作所 コマツNTC 安永 |
ウエハーの研磨 |
ラッピング装置 ポリッシング装置 |
不二越機械工業 スピードファム 岡本工作機械製作所 北川グレステック テクノライズ 東京精密 |
ウエハーの検査 |
ウエハー表面検査装置 ウエハー外観検査装置 |
日立ハイテク ニコン タカノ オカノ電機 |
前工程
作業工程 | 装置名 | メーカー |
ウェハーの表面酸化 | 熱処理装置 |
東京エレクトロン KOKUSAI ELECTRIC 東横化学 |
薄膜形成 | 薄膜形成装置 |
東京エレクトロン |
フォトレジスト塗布 | コータデベロッパー |
東京エレクトロン SCREENセミコンダクターソリューソンズ |
露光・現像 | 露光装置 |
ニコン キャノン |
エッチング | エッチング装置 |
東京エレクトロン |
レジスト剥離・洗浄 | 洗浄装置 |
東京エレクトロン SCREENセミコンダクターソリューションズ 芝浦メカトロニクス |
イオン注入 | イオン注入装置 |
日新イオン機器 住友重機械イオンテクノロジー |
平坦化 | CMP装置 |
荏原製作所 東京精密 |
電極形成 | スパッタリング装置 | アルバック |
ウェーハ検査 | ウェーハ検査装置 | 日立ハイテク |
後工程
作業工程 | 装置名 | メーカー |
グラインディング | グラインデイング装置 |
ディスコ 東京精密 |
ダイシング | ダイシング装置 |
ディスコ 東京精密 |
ダイボンディング | ダイボンディング装置 |
ファスフォードテクノロジー キャノンマシナリー |
ワイヤーボンディング | ワイヤーボンディング装置 |
新川 カイジョー |
モールディング | モールディング装置 |
TOWA アピックヤマダ |
最終検査 | テスティング装置 |
アドバンテスト イノテック |
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